Mapping系列光谱椭偏仪是全自动高精度Mapping绘制化测量光谱椭偏仪,采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析。
SE-VM是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可实现科研/企业级高精度快速光谱椭偏测量,支持多角度,微光斑,可视化调平系统等高兼容性灵活配置,多功能模块定制化设计。
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